박막 두께 측정(measurement)
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작성일 22-12-19 14:33
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실제로, 우리들이 두께라 불리우는 것을 보통 측정(測定) 할 때의 과정을 고려하면 알 수 있는 바와 같이, 그것을 대부분의 경우, 평행으로 간주한 2개의 면 사이의 거리를 말하는 것이다. 입사광(A0eiwt가 H1에 수직으로 입사하는 것으로 한…(省略)
설명
레포트/공학기술
박막 두께 측정(measurement)에 대한 data(資料)입니다.
-박막두께측정(measurement)
박막 두께 측정(measurement)
순서
,공학기술,레포트
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목적
진공증착법에 의해 제작된 박막의 두께를 MBI법(Multiful-Beam Interferometry)을 이용하여 측정(測定) 한다. -박막두께측정 , 박막 두께 측정공학기술레포트 ,
다.
먼저 紹介(소개)할 방법은 이번 실험에서 실시한 방법이다.
실험 기구
수은 광원, 초록 필터, 스텝형성장치, 볼록렌즈, 버니어 유동 현미경, 측정(測定) 박막
이 론
막 두께의 의미
막 두께라는 것은, 원자 또는 분자가 기판면에 수직의 방향으로 1-104개 정도의 자리수로 집적된 것이기 때문에, 그 방향만을 고려하면, 원자 1개의 거동이 박막의 형태에 effect(영향) 을 미친다고 해도 좋고, 따라서 그 방향에 마주향하여 는 미크로 한 구조를 지닌 것이다.
① 박막의 불연속성이나 표면의 오목 볼록
② 박막 내부의 격자결함
③ 박막 내부의 불순물, 표면의 흡착분자
다중반사 간섭(MBI)법
그림 1.두 평행 평면판에서의 반복 반사
다중반사 간섭법은 피조간섭법의 일종으로 막두께의 대표적인 측정(測定) 법이다. 이 것은 선명한 간섭신호를 얻는 수단으로서 지극히 우수한 방법인데, 이것을 형상막 두께의 측정(測定) 법의 기본이라 해도 좋다. 따라서 두께가 definition 되기 위해서는 서로 평행한 2개의 면이 definition 될 필요가 있따 막두께라는 것을 고려할 때 검토해야 할 요소는 다음과 같다. 이 방법에 여러 가지 해설이 있는데, 대표적으로 두가지 방법이 있따 여기에 대해 간단히 說明(설명) 하겠다. 그림 1에 나타낸 바와 같이 2개의 평행한 평면 H1,H2에 수직으로 파장 λ(각 진동수 ω)의 단색광이 입사했을 때 H1,H2의 반사율, 투과율을 각각 r1,r2 및 t1,t2로 하고, 또 H1,H2사이의 거리를 d라 한다.
박막 두께 측정에 대한 자료입니다. 먼저 원리를 간단히 說明(설명) 하고, 필요한 formula을 유도한다.
