주사전자현미경을 이용한 미세구조 observe
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작성일 23-01-28 01:13
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실험제목: 주사전자현미경을 이용한 미세구조 관찰 1.실험목적 본 실험에서는 주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope: SEM)을 이용하여 재료의 미세구조를 관찰하는 방법을 학습한다. 전자 probe의 주사와 동기된 브라운관 화면상에 시료로 부터 발생한 신호를 각각의 신호로 변환시킨 검출기에서 검출, 증폭하여 영상으로 보여준다. 전자 probe는 주사 코일에 의해 전자표면상의 X와 Y의 2차원 방향으로(통상의 Television)새롭게 설정된 면적을 주사 시킨다.
다. 주로 2차전자가 시료의 형태observation, 반사전자나 X선이 constituent 분석에 사용됨
재료의 미세구조는 프로세싱에 의하여 change(변화)가 가능하며, 이러한 미세구조의 change(변화)는 최종 재료의 물성과 밀접한 관계가 있다아 따라서 최종 물성을 예측하기 위해서 미세구조를 파악할 필요가 있으며, 이를 위하여 본 實驗에서는 주사전자 현미경을 활용하기로 한다. 주사전자현미경은 전자기렌즈로 작게 축소된 전자선으로 시료 표면을 주사하여 표면으로부터 발생하는 2차전자·반사전자 등을 증폭하고 이들 양자강도를 휘도(輝度)로 바꾸어 브라운관에 결상시킨다. 시료 내의 원소로부터 발생하는 특정 X선을 분석하는 X선마이크로분석기와 병용하여, 시료 내에서의 특정 원소의 검출이나 분포를 해석하는 수단으로서도 널리 이용되고 있다아 분해능은 약 3∼20㎚이지만, 3㎚ 이하의 분해능을 가진다. 통상, 0.5~30kV로 가속되어진 전자선은 집속 렌즈와 대물렌즈의 전자 렌즈의 작용으로 최종적으로 3~100nm의 직경까지 미세해지며 시료표면에 조사된다. 이렇게 미세해진 전자선을 전자 probe라고 부른다. 브라운관화상은 전자 probe의 주사면적을 작게 할수록 확대된다.
표준시험편 (바륨타이네이트(BaTiO3) 등 세라믹 분말 및 소결체
SEM이란 10-3Pa이상의 진공 중에 놓여진 시료표면을 1-100nm정도의 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 적외선, X선, 내부 기전력 등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여 시료의 형태, 미세구조의 observation이나 구성원소의 분포, 정성, 정량등의 분석을 행하는 장치이다.
3.3 주사전자 현미경의 작동원리
Image analyzing software
주사전자현미경을 이용한 미세구조 observe
본 실험에서는 주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope: SEM)을 이용하여 재료의 미세구조를 observe하는 방법을 학습한다. 주로 금속등의 도체, IC, 산화물등의 반도체, 고분자 재료나 세라믹등의 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 된다.
주사전자현미경,현미경,전자현미경
실험title: 주사전자현미경을 이용한 미세구조 observe
주사전자현미경
시료 표면의 입체구조를 직접 observation하는 기능을 가진 전자현미경이고, 약칭은 SEM이다. 2.실험 준비물 표준시험편 (바륨타이네이트(BaTiO3) 등 세라믹 분말 및 소결체 주사전자현미경 Image analyzing software
2.실험 준비물
순서
1.실험목적
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설명
3.1 구조-물성-프로세싱의 관계
레포트 > 자연과학계열
3.2 주사전자 현미경(Scanning Electron Microscope: SEM)
SEM의 원리구성 예는 전자선은 전자총부의 원통내의 음극(Filament)을 가열하여 발생한 전자가 양극으로 가속되어진다.
