이온빔을 이용한 TiN 박막의 제조 및 특성(特性)
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작성일 23-01-11 00:16
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이온빔으로 제조된 화합물 박막의 特性은 조사된 이온 에너지, 이온 선속, 원자당 에너지에 따라 變化(변화)된다된다. 임계 에너지 이하일 경우에는 이온 에너지와 이온 선속이 감소할 경우 흑색 피막이 형성되며 이온에너지가 증가 할 경우 밤색의 피막이 이온선속이 증가할 경우에는 어두운 금색 피막이 형성됨을 알 수 있다아
3.2 박막의 ingredient analysis(분석)
그림 3 은 원자당 에너…(省略)
2.2.3 박막의 분석 및 평가 박막의 분석에 있어서 결정학적 구조 관찰에는 x-선 회절법 (XRD)을 이용하였으며, 박막의 표면... , 이온빔을 이용한 TiN 박막의 제조 및 특성공학기술레포트 ,
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2.2.3 박막의 analysis 및 평가
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레포트/공학기술
박막의 analysis에 있어서 결정학적 구조 관찰에는 x-선 회절법 (XRD)을 이용하였으며, 박막의 표면...
다. 이온선속의 變化(변화)는 박막의 조성과 관련이 되어 있으며 원자당 에너지는 박막의 색상과 밀첩한 관련이 되어있다아 박막의 색상은 박막의 화학양론(stoichometric) 과 조성비 (N/Ti)에 관련된 양으로 즉, 황금색의 TiN 박막인 경우 stoichometric 박막이 형성되며 조성비도 (N/Ti) ≈1 인 성질을 갖게 된다된다. 그림 2는 황금색 TiN 박막이 형성되는 영역을 보여주고 있다아 임계의 원자당 에너지 이상에서는 황금색의 TiN 박막이 형성됨을 알 수 있다아 즉 TiN 박막의 색상은 이온의 선속이나 이온에너지 보다는 일반화된 원자당 에너지로 결정됨을 알 수 있다아 또한 이러한 조건에서는 낮은 이온에너지에서도 이온선속을 증가시키면 임계의 원자당 에너지 이상인 영역인 황금색의 TiN 박막을 형성시킬수 있게 된다된다.
3. 실험결과 및 고찰
3.1 TiN 박막의 색상
그림 2 는 이온빔의 실험변수인 원자당 에너지(이온선속 X 이온에너지) 와 색차계로 측정(measurement)된 TiN 박막의 색상에 대한 그림이다.설명
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2.2.3 박막의 analysis(분석) 및 평가
박막의 analysis(분석) 에 있어서 결정학적 구조 觀察(관찰) 에는 x-선 회절법 (XRD)을 이용하였으며, 박막의 표면 형상은 주사전자 현미경을 사용하였다. 한편 박막의 계면이나 두께에 따른 ingredientanalysis(분석) 은 오제전자 현미경 (AES)을 이용하였다. 특히, 박막의 색상analysis(분석) 은 색차계(colorimeter)를 이용하여 박막의 색상을 판별하였다. 원자당 에너지는 전자빔에서 증발된 단위 원자당 조사된 이온의 에너지를 의미한다.
